Cristallo YAG
1. Introduzione
Il cristallo YAG (Yttrium Aluminium Garnet, Y₃Al₅O₁₂) è un eccellente materiale laser e ottico noto per la sua elevata durezza, elevata conduttività termica, buona stabilità chimica e omogeneità ottica superiore. È ampiamente utilizzato nei laser-a stato solido, nei substrati di fosforo dei LED, nelle finestre ottiche, nelle apparecchiature laser medicali e nei sistemi elettro-ottici per la difesa.
L'azienda Hemei possiede una profonda competenza tecnica nella lavorazione meccanica di precisione di materiali duri e fragili. Ha sviluppato un processo di lucidatura efficiente e stabile specifico per i cristalli YAG, consentendo una lavorazione completamente controllabile dalla lucidatura grezza a quella fine. Ciò garantisce che la superficie del cristallo YAG soddisfi gli standard di qualità per le applicazioni di "grado-laser" o di "grado-ottico".
2. Requisiti dell'applicazione
Gli obiettivi di lucidatura per i cristalli YAG includono:
Rugosità superficiale (Ra) ridotta a < 0,5 nm.
Precisione della figura superficiale (valore PV) migliore di λ/10 (@632,8 nm).
Superficie priva di danni e crepe nel sottosuolo-superficiale, conforme ai requisiti della soglia di danno indotto dal laser (LIDT).
Uniformità dello spessore (TTV) controllata entro un intervallo micrometrico specificato.
Per raggiungere questi obiettivi, il processo Hemei utilizza un sistema di incollaggio personalizzato e una procedura di lucidatura in più-fasi, garantendo precisione geometrica e integrità della superficie durante la lavorazione.
3. Specifiche del sistema
Il sistema di lucidatura modulare di Hemei supporta la lavorazione di cristalli YAG in varie dimensioni e forme. Il sistema centrale comprende:
Attrezzatura per lappatura serie HSM-L/LP: Utilizzato per la rimozione iniziale del materiale e il controllo dello spessore.
Sistema di lucidatura chimico-meccanica (CMP) serie HSM-CMP: Utilizzato per ottenere una superficie ultra-liscia e priva di danni-.
Sottosistemi chiave:
Unità di legame specifica per wafer/cristallo-(WBU)
Dispositivi di lucidatura di precisione serie SJ/ASJ
C-Sistema di lucidatura ad alta velocità-della testa motrice ASJ
4. Flusso di elaborazione
Incollaggio e montaggio: Il cristallo YAG viene temporaneamente fissato a una piastra di supporto utilizzando la WBU e quindi montato sull'attrezzatura di lucidatura.
Lucidatura grezza e intermedia: La lappatura controllata viene eseguita sull'attrezzatura HSM-L per rimuovere lo strato danneggiato dalla lavorazione.
Lucidatura fine: Per la lucidatura finale viene utilizzato il sistema HSM-CMP. Regolando parametri quali pressione, velocità di rotazione e flusso del liquame in tempo reale-, si ottiene una finitura superficiale su scala nanometrica.
5. Risultati tipici
Rugosità superficiale: Ra < 0,5 nm
Precisione della figura della superficie: PV inferiore o uguale a λ/10
Tasso di rimozione materiale: 1-2,5 μm/ora (regolabile)
Applicabile a wafer YAG con diametro inferiore o uguale a 6 pollici e cristalli di forma irregolare.
6. Riepilogo
Hemei Company fornisce una soluzione di lucidatura completa e affidabile per i cristalli YAG, in grado di ottenere costantemente qualità superficiale su scala nanometrica e prestazioni ottiche elevate. Ciò supporta l'applicazione industriale di YAG in campi-di fascia alta come laser e optoelettronica.
Il processo di cui sopra viene completato utilizzando la macchina per lappatura e lucidatura di Hemei Semiconductor
